ASTM F1392-00

Standard Test Method for Determining Net Carrier Density Profiles in Silicon Wafers by Capacitance-Voltage Measurements With a Mercury Probe

NORMA vydaná dňa 10.6.2000

Anglicky -
Online zabezpečené PDF (78.70 EUR)

Anglicky -

Tlačené (78.70 EUR)

Informácie o norme:

Označenie normy: ASTM F1392-00
Poznámka: NEPLATNÁ
Dátum vydania normy: 10.6.2000
Počet strán: 14
Približná hmotnosť: 42 g (0.09 libier)
Krajina: Americká technická norma
Kategória: Technické normy ASTM

Anotácia textu normy ASTM F1392-00 :

Keywords:
capacitance-voltage method, carrier density, carrier density profile, depth profile, epitaxial wafers, mercury probe, net carrier density, polished wafers, profiles, resistivity, silicon, single crystal silicon, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)