ASTM F1390-02

Standard Test Method for Measuring Warp on Silicon Wafers by Automated Noncontact Scanning (Withdrawn 2003)

NORMA vydaná dňa 10.12.2002

Anglicky -
PDF - okamžité stiahnutie (72.80 EUR)

Informácie o norme:

Označenie normy: ASTM F1390-02
Poznámka: NEPLATNÁ
Dátum vydania normy: 10.12.2002
Počet strán: 9
Približná hmotnosť: 27 g (0.06 libier)
Krajina: Americká technická norma
Kategória: Technické normy ASTM

Anotácia textu normy ASTM F1390-02 :

Keywords:
noncontact measurement, semiconductor, shape, silicon, wafers, warp, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)