ASTM F1366-92(2002)

Standard Test Method for Measuring Oxygen Concentration in Heavily Doped Silicon Substrates by Secondary Ion Mass Spectrometry (Withdrawn 2003)

NORMA vydaná dňa 1.1.1992

Anglicky -
Online zabezpečené PDF (71.80 EUR)

Anglicky -

Tlačené (71.80 EUR)

Informácie o norme:

Označenie normy: ASTM F1366-92(2002)
Poznámka: NEPLATNÁ
Dátum vydania normy: 1.1.1992
Počet strán: 5
Približná hmotnosť: 15 g (0.03 libier)
Krajina: Americká technická norma
Kategória: Technické normy ASTM

Anotácia textu normy ASTM F1366-92(2002) :

Keywords:
FTIR, oxygen, secondary ion mass spectometry, silicon, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)