
Standard Test Method for Determining the Average Electrical Width of a Straight, Thin-Film Metal Line [Metric] (Withdrawn 2009)
NORMA vydaná dňa 10.6.1996
Označenie normy: ASTM F1261M-96(2003)
Poznámka: NEPLATNÁ
Dátum vydania normy: 10.6.1996
Počet strán: 4
Približná hmotnosť: 12 g (0.03 libier)
Krajina: Americká technická norma
Kategória: Technické normy ASTM
Keywords:
aluminum, electrical interconnect, electrical linewidth, linewidth, metallization, semiconductor, test structure, thin film