Standard Test Methods for Oxygen Precipitation Characterization of Silicon Wafers by Measurement of Interstitial Oxygen Reduction (Withdrawn 2003)
NORMA vydaná dňa 10.1.2002
Označenie normy: ASTM F1239-02
Poznámka: NEPLATNÁ
Dátum vydania normy: 10.1.2002
Počet strán: 5
Približná hmotnosť: 15 g (0.03 libier)
Krajina: Americká technická norma
Kategória: Technické normy ASTM
Keywords:
delta O, interstitial oxygen, oxygen precipitation, oxygen reduction, silicon, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)