ASTM F1238-95(2003)

Standard Specification for Refractory Silicide Sputtering Targets for Microelectronic Applications

NORMA vydaná dňa 10.12.1999

Anglicky -
Online zabezpečené PDF (66.80 EUR)

Informácie o norme:

Označenie normy: ASTM F1238-95(2003)
Poznámka: NEPLATNÁ
Dátum vydania normy: 10.12.1999
Počet strán: 2
Približná hmotnosť: 6 g (0.01 libier)
Krajina: Americká technická norma
Kategória: Technické normy ASTM

Anotácia textu normy ASTM F1238-95(2003) :

Keywords:
density, microelectronics, molybdenum, disilicide, refractory silicides, sputtering, sputtering targets, tantalum disilicide, titanium disilicide, tungsten disilicide, ICS Number Code 31.100 (Electronic tubes)