ASTM F1228-89(1994)E01

Test Method for Oxidizable (Organic) Carbon on Wafer Surfaces (By Persulfate) (Withdrawn 2001)

NORMA vydaná dňa 1.1.1994

Anglicky -
Online zabezpečené PDF (65.80 EUR)

Informácie o norme:

Označenie normy: ASTM F1228-89(1994)E01
Poznámka: NEPLATNÁ
Dátum vydania normy: 1.1.1994
Počet strán: 4
Približná hmotnosť: 12 g (0.03 libier)
Krajina: Americká technická norma
Kategória: Technické normy ASTM

Anotácia textu normy ASTM F1228-89(1994)E01 :

Keywords:
Carbon content-semiconductors, Contamination-semiconductors, Electrical conductors-semiconductors, Microelectronics industry, Organic carbon (OC), Oxidizable carbon, Persulfate oxidation, Semiconductor device testing, Silicon semiconductors, Silicon semiconductors-slices/wafers, wafer surfaces-mass of deposited organic (oxidizable) carbon, contaminants, by persulfate oxidant solution, test