ASTM F1152-02

Standard Test Method for Dimensions of Notches on Silicon Wafers (Withdrawn 2003)

NORMA vydaná dňa 10.1.2002

Anglicky -
Online zabezpečené PDF (64.90 EUR)

Informácie o norme:

Označenie normy: ASTM F1152-02
Poznámka: NEPLATNÁ
Dátum vydania normy: 10.1.2002
Počet strán: 4
Približná hmotnosť: 12 g (0.03 libier)
Krajina: Americká technická norma
Kategória: Technické normy ASTM

Anotácia textu normy ASTM F1152-02 :

Keywords:
notch, notch dimension, optical comparator, silicon, wafer, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)