
Standard Practice for Shallow Etch Pit Detection on Silicon Wafers
NORMA vydaná dňa 10.6.2000
Označenie normy: ASTM F1049-00
Poznámka: NEPLATNÁ
Dátum vydania normy: 10.6.2000
Počet strán: 4
Približná hmotnosť: 12 g (0.03 libier)
Krajina: Americká technická norma
Kategória: Technické normy ASTM
Keywords:
Defects-semiconductors, Etching, Haze, wafers (silicon)- shallow etch pit detection, test,, Microscopic examination-electronic materials, wafers (silicon)- shallowetch pit detection, test, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)