Standard Practice for Approximate Determination of Current Density of Large-Diameter Ion Beams for Sputter Depth Profiling of Solid Surfaces
NORMA vydaná dňa 10.4.2000
Označenie normy: ASTM E684-95(2000)
Poznámka: NEPLATNÁ
Dátum vydania normy: 10.4.2000
Počet strán: 2
Približná hmotnosť: 6 g (0.01 libier)
Krajina: Americká technická norma
Kategória: Technické normy ASTM
Keywords:
ion beam sputtering, ICS Number Code 17.220.20 (Measurement of electrical and magnetic quantities)