ASTM E2245-02

Standard Test Method for Residual Strain Measurements of Thin, Reflecting Films Using an Optical Interferometer

NORMA vydaná dňa 10.10.2002

Anglicky -
Online zabezpečené PDF (84.10 EUR)

Informácie o norme:

Označenie normy: ASTM E2245-02
Poznámka: NEPLATNÁ
Dátum vydania normy: 10.10.2002
Počet strán: 16
Približná hmotnosť: 48 g (0.11 libier)
Krajina: Americká technická norma
Kategória: Technické normy ASTM

Anotácia textu normy ASTM E2245-02 :

Keywords:
cantilevers, combined standard uncertainty, fixed-fixed beams, interferometry, length measurements, microelectromechanical systems, MEMS, polysilicon, residual strain, stiction, strain gradient, test structure, ICS Number Code 37.040.20 (Photographic paper, film and plates. Cartridges)