ASTM E2244-11

Standard Test Method for In-Plane Length Measurements of Thin, Reflecting Films Using an Optical Interferometer

NORMA vydaná dňa 1.11.2011

Anglicky -
Online zabezpečené PDF (78.80 EUR)

Informácie o norme:

Označenie normy: ASTM E2244-11
Poznámka: NEPLATNÁ
Dátum vydania normy: 1.11.2011
Počet strán: 11
Približná hmotnosť: 33 g (0.07 libier)
Krajina: Americká technická norma
Kategória: Technické normy ASTM

Anotácia textu normy ASTM E2244-11 :

Keywords:
cantilevers, combined standard uncertainty, deflection measurements, fixed-fixed beams, interferometry, length measurements, microelectromechanical systems, MEMS, polysilicon, residual strain, strain gradient, test structure, ICS Number Code 37.040.20 (Photographic paper, film and plates. Cartridges)