ASTM E2244-02

Standard Test Method for In-Plane Length Measurements of Thin, Reflecting Films Using an Optical Interferometer

NORMA vydaná dňa 10.10.2002

Anglicky -
Online zabezpečené PDF (75.40 EUR)

Informácie o norme:

Označenie normy: ASTM E2244-02
Poznámka: NEPLATNÁ
Dátum vydania normy: 10.10.2002
Počet strán: 9
Približná hmotnosť: 27 g (0.06 libier)
Krajina: Americká technická norma
Kategória: Technické normy ASTM

Anotácia textu normy ASTM E2244-02 :

Keywords:
cantilevers, combined standard uncertainty, deflection measurements, fixed-fixed beams, interferometry, length measurements, microelectromechanical systems, MEMS, polysilicon, residual strain, strain gradient, test structure, ICS Number Code 37.040.20 (Photographic paper, film and plates. Cartridges)