Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 26: Description and measurement methods for micro trench and needle structures.
NORMA vydaná dňa 1.5.2014
Designation standards: E DIN EN 62047-26:2014-05
Note: NEPLATNÁ
Publication date standards: 1.5.2014
The number of pages: 53
Approximate weight : 159 g (0.35 lbs)
Country: German technical standard
Kategória: Technické normy DIN
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 26: Beschreibung und Messverfahren für Mikro-Rillen und Nadelstrukturen.