Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 15: Test method of bonding quality between PDMS and glass.
NORMA vydaná dňa 1.11.2012
Označenie normy: E DIN EN 62047-15:2012-11
Poznámka: NEPLATNÁ
Dátum vydania normy: 1.11.2012
Počet strán: 19
Približná hmotnosť: 57 g (0.13 libier)
Krajina: Nemecká technická norma
Kategória: Technické normy DIN
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 15: Prüfverfahren zur Bondqualität zwischen PDMS und Glas.