Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 8: Strip bending test method for tensile property measurement of thin films.
NORMA vydaná dňa 1.12.2011
Designation standards: DIN EN 62047-8:2011-12
Publication date standards: 1.12.2011
The number of pages: 20
Approximate weight : 60 g (0.13 lbs)
Country: German technical standard
Kategória: Technické normy DIN
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 8: Streifen-Biege-Prüfverfahren zur Messung von Zugbeanspruchungsmerkmalen dünner Schichten.