DIN EN 62047-12:2012-06

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 12: Bending fatigue testing method of thin film materials using resonant vibration of MEMS structures.

NORMA vydaná dňa 1.6.2012

Nemecky -
PDF - okamžité stiahnutie (110.00 EUR)

Nemecky -

Tlačené (133.30 EUR)

Nemecky -

CD-ROM (111.50 EUR)

The information about the standard:

Designation standards: DIN EN 62047-12:2012-06
Publication date standards: 1.6.2012
The number of pages: 31
Approximate weight : 93 g (0.21 lbs)
Country: German technical standard
Kategória: Technické normy DIN

Annotation of standard text DIN EN 62047-12:2012-06 :

Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 12: Verfahren zur Prüfung der Biege-Ermüdungsfestigkeit von Dünnschichtwerkstoffen unter Verwendung der Resonanzschwingungen bei MEMS-Strukturen.