DIN EN 62047-10:2012-03

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 10: Micro-pillar compression test for MEMS materials.

NORMA vydaná dňa 1.3.2012

Nemecky -
PDF - okamžité stiahnutie (79.70 EUR)

Nemecky -

Tlačené (96.40 EUR)

Nemecky -

CD-ROM (81.20 EUR)

The information about the standard:

Designation standards: DIN EN 62047-10:2012-03
Publication date standards: 1.3.2012
The number of pages: 13
Approximate weight : 39 g (0.09 lbs)
Country: German technical standard
Kategória: Technické normy DIN

Annotation of standard text DIN EN 62047-10:2012-03 :

Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 10: Druckprüfverfahren an zylinderförmigen Mikroproben für Werkstoffe der Mikrosystemtechnik.