Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 1: Terms and definitions.
NORMA vydaná dňa 1.10.2006
Označenie normy: DIN EN 62047-1:2006-10
Poznámka: NEPLATNÁ
Dátum vydania normy: 1.10.2006
Počet strán: 28
Približná hmotnosť: 84 g (0.19 libier)
Krajina: Nemecká technická norma
Kategória: Technické normy DIN
Halbleiterbauelemente - Bauteile der Mikrosystemtechnik - Teil 1: Begriffe und Definitionen.