DIN 51456:2013-10

Testing of materials for semiconductor technology - Surface analysis of silicon wafers by multielement determination in aqueous analysis solutions using mass spectrometry with inductively coupled plasma (ICP-MS).

NORMA vydaná dňa 1.10.2013

Nemecky -
PDF - okamžité stiahnutie (65.90 EUR)

Nemecky -

Tlačené (79.90 EUR)

Nemecky -

CD-ROM (67.40 EUR)

Informácie o norme:

Označenie normy: DIN 51456:2013-10
Dátum vydania normy: 1.10.2013
Počet strán: 15
Približná hmotnosť: 45 g (0.10 libier)
Krajina: Nemecká technická norma
Kategória: Technické normy DIN

Anotácia textu normy DIN 51456:2013-10 :

Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Oberflächenanalyse von Silicium-Halbleiterscheiben (Wafer) durch Multielementbestimmung in wässrigen Analysenlösungen mittels Massenspektrometrie mit induktiv gekoppeltem Plasma (ICP-MS).