ASTM F3166-16

Standard Specification for High-Purity Titanium Sputtering Target Used for Through-Silicon Vias (TSV) Metallization (Withdrawn 2023)

NORMA vydaná dňa 1.5.2016

Anglicky -
Elektronické PDF (69.20 EUR)

Anglicky -

Tlačené (69.20 EUR)

Informácie o norme:

Označenie normy: ASTM F3166-16
Poznámka: NEPLATNÁ
Dátum vydania normy: 1.5.2016
Počet strán: 5
Približná hmotnosť: 15 g (0.03 libier)
Krajina: Americká technická norma
Kategória: Technické normy ASTM

Anotácia textu normy ASTM F3166-16 :

Keywords:
high-purity titanium, sputtering target, TSV metallization,, ICS Number Code 25.220.40 (Metallic coatings)