Standard Test Method for Determination of Particle Contribution from Gas Distribution System Valves
NORMA vydaná dňa 1.7.2012
Označenie normy: ASTM F1394-92(2012)
Poznámka: NEPLATNÁ
Dátum vydania normy: 1.7.2012
Počet strán: 27
Približná hmotnosť: 81 g (0.18 libier)
Krajina: Americká technická norma
Kategória: Technické normy ASTM
Keywords:
condensation nucleus center, contamination, gas distribution, gas distribution valves, isokinetic sampling, nitrogen, particle contamination, particle counter, particles, semiconductor processing, ICS Number Code 23.060.20 (Ball and plug valves), 23.060.10 (Globe valves)