Standard Specification for Chromium Sputtering Targets for Thin Film Applications (Withdrawn 2020)
NORMA vydaná dňa 1.6.2011
Označenie normy: ASTM F1367-98(2011)
Poznámka: NEPLATNÁ
Dátum vydania normy: 1.6.2011
Počet strán: 2
Približná hmotnosť: 6 g (0.01 libier)
Krajina: Americká technická norma
Kategória: Technické normy ASTM
Keywords:
chromium, sputtering, targets, Chromium electronic materials/applications, Chromium sputtering targets, Electronic materials/applications--specifications, Sputtering process/targets--specifications, Targets, ICS Number Code 25.220.40 (Metallic coatings)